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MRAM 응용을 위한 강자성 박막재료의 고밀도 플라즈마 식각
박형조, 라현욱, 한윤봉
한국화학공학회 2003년 봄 학술대회 |
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MRAM 응용을 위한 자기박막의 고밀도 플라즈마 식각|High-Density Plasma Etching of Magnetic Films for MRAM Applications
박형조,한윤봉|Hyung-Jo Park,Yoon-Bong Hahn
한국화학공학회 2002년 가을 학술대회 |
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InGaN/GaN 다중 양자우물 발광 다이오드의 플라즈마 식각 손상 특성|Plasma-Induced Etch Damage of InGaN/GaN Multiple Quantum Well Light-Emitting Diodes
최락준,최창선,박형조,한윤봉|Rak-Jun Choi,Chang-Sun Choi,Hyung-Jo Park,Yoon-Bong Hahn
한국화학공학회 2002년 가을 학술대회 |
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식각 손상된 InGaN/GaN 다중 양자우물 발광 다이오드의 전기적 특성 회복|Improvement of Etch-Damaged Electrical Properties of InGaN/GaN Multiple Quantum Well Light-Emitting Diodes
최락준,박형조,최창선,한윤봉|Rak-Jun Choi,Hyung-Jo Park,Chang-Sun Choi,Yoon-Bong Hahn
한국화학공학회 2002년 가을 학술대회 |
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InGaN/GaN 다층양자우물 LED구조의 Cl2/Ar ICP 식각|Inductively Coupled Cl2/Ar Plasma Etching of InGaN/GaN Multiple Quantum well Light-Emitting Diode Structure
박형조, 최창선, 최락준, 홍주형, 한윤봉|H. J. Park, C. S. Choi, R. J. Choi, J. H. Hong, Y. B. Hahn
한국화학공학회 2002년 봄 학술대회 |
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NF3/Ar ICP를 이용한 SiO2/PR의 선택적 식각|Selective Dry Etching of SiO2 over Photo-resist using NF3/Ar Inductively Coupled Plasma
박형조, 한윤봉|Hyung Jo Park, Yoon Bong Hahn
한국화학공학회 2002년 봄 학술대회 |
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GaN-based 발광소자에서 식각 속도에 기인한 PECVD 산화막 증착 조건에 관한 연구|Effect of Deposition Condition of PECVD SiO2 on Etch Rate for GaN-based LED
최창선,김태희,홍주형,박형조,한윤봉|C. S. Choi,T. H. Kim,J. H. Hong,H. J. Park,Y. B. Hahn
한국화학공학회 2001년 가을 학술대회 |
