| 12 |
Investigation of Corrosion Inhibitor Induced Particle Contamination on Post Cu CMP Surface
이찬희, 류헌열, 황준길, 조휘원, 이유진, 김태곤, 박진구
한국재료학회 2019년 가을 학술대회 |
| 11 |
INVESTIGATION OF THE FORMATION OF WOX DURING W CHEMICAL MECHANICAL PLANARIZATION
Palwasha Jalalzai, 박진구, Maneesh Kumar Poddar, 류헌열, 정연아, 김태곤
한국재료학회 2019년 가을 학술대회 |
| 10 |
Quantitative Comparison of Silica and Ceria Abrasive Contamination on PVA Brush and Its Effect on Post CMP Cleaning Process
조휘원, 류헌열, 황준길, 이찬희, 김여호, 김태곤, Nagendra Prasad Yerriboina, 박진구
한국재료학회 2019년 가을 학술대회 |
| 9 |
A Novel Method to Evaluate the Catalyst Effect on the Performance of W CMP Process
한소영, 정연아, 류헌열, Maneesh Kumar Poddar, Nagendra Prasad Yerriboina, 김재현, 박종대, 이민건, 박창용, 한성준, 김명준, 박진구
한국재료학회 2019년 봄 학술대회 |
| 8 |
Co CMP를 위한 Co-BTA Complex Layer 특성 연구
이찬희, 류헌열, 황준길, 정연아, 조휘원, Nagendra Prasad Yerriboina, 박진구
한국재료학회 2019년 봄 학술대회 |
| 7 |
Insulation Shield를 이용한 Through-Mask Electrochemical Micromachining공정의 균일도 개선
김명준, 류헌열, 박진구
한국재료학회 2016년 가을 학술대회 |
| 6 |
TMEMM공정을 이용한 Fine Metal Mask 제작 공정개발
김명준, 류헌열, 박진구
한국재료학회 2016년 봄 학술대회 |
| 5 |
Electrochemical etching을 이용한 bumping mask 제작
안재빈, 류헌열, 박진구
한국재료학회 2014년 가을 학술대회 |
| 4 |
Zincating을 이용한 초소수성 알루미늄 표면 구현
안재빈, 류헌열, 한동호, 이춘수, 박진구
한국재료학회 2014년 봄 학술대회 |
| 3 |
PE-CVD방법을 이용한 Polycarbonate표면의 Amine 처리
한동호, 이정환, 류헌열, 조시형, 박진구
한국재료학회 2013년 가을 학술대회 |
