화학공학소재연구정보센터
번호 제목
4 중성빔을 이용한 블록공중합체 패턴의 저손상 식각에 관한 연구
장원준, 김교운, 오지수, 김희주, 홍종우, 염근영
한국재료학회 2020년 봄 학술대회
3 Poly Si Nano-Pattern Etching Using Cl2/Ar Synchronized, Asynchronized Pulsed Inductively Coupled Plasmas
김희주, 김교운, 홍종우, 오지수, 김정완, 이채린, 염근영
한국재료학회 2020년 봄 학술대회
2 Si Nanostructure Etching Using Pulsed Inductively Coupled Cl2/Ar Plasma
신예지, 김희주, 김교운, 오지수, 염근영
한국재료학회 2019년 가을 학술대회
1 Pulsed biased 적용을 통한 Si와 TiO2 나노구조체의 식각 특성 향상에 대한 연구
김희주, 신예지, 오지수, 김교운, 염근영
한국재료학회 2019년 가을 학술대회