| 번호 | 제목 |
|---|---|
| 2 |
촉매 및 고이온화 에너지를 이용한 반도체 산업 에칭 공정 Non-CO2 가스 (SF6) 처리 친환경 대용량/고효율 시스템 개발 윤종필 한국공업화학회 2012년 가을 학술대회 |
| 1 |
고이온화 에너지를 이용한 슬러지의 외부탄소원 재이용 김태훈, 이재광, 김탁현, 남윤구, 유승호, 이면주 한국공업화학회 2007년 가을 학술대회 |
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촉매 및 고이온화 에너지를 이용한 반도체 산업 에칭 공정 Non-CO2 가스 (SF6) 처리 친환경 대용량/고효율 시스템 개발 윤종필 한국공업화학회 2012년 가을 학술대회 |
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고이온화 에너지를 이용한 슬러지의 외부탄소원 재이용 김태훈, 이재광, 김탁현, 남윤구, 유승호, 이면주 한국공업화학회 2007년 가을 학술대회 |