| 번호 | 제목 |
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Plasma enhanced atomic layer deposition of aluminium oxide passivation layers 김태섭, 고명균, 김웅선, 문대용, 강병우, 박종완 한국재료학회 2008년 봄 학술대회 |
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Electrical properties of lanthanum hafnium oxide thin films deposited by electron cyclotron resonance atomic layer deposition 김웅선, 고명균, 김태섭, 박상균, 박종완 한국재료학회 2007년 가을 학술대회 |
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Effect of plasma treatment to surface of the titanium oxide deposited by plasma enhanced atomic layer deposition 김웅선, 고명균, 김태섭, 박종완 한국재료학회 2007년 봄 학술대회 |
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Titanium oxide thin films deposited by plasma enhanced atomic layer deposition for encapsulation of organic devices 김태섭, 김웅선, 고명균, 박종완 한국재료학회 2007년 봄 학술대회 |
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고유전 산화막 Lanthanium oxide의 PEALD 증착법|Plasma Enhanced Atomic Layer Deposition of Lanthanium oxide for High-k gate dielectric 이은주, 고명균, 김범용, 박상균, 김헌도, 박종완 한국재료학회 2005년 가을 학술대회 |
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PEALD 방법으로 증착된 La2O3 게이트 산화물 박막의 전기적 특성|Electrical properties of lanthanum oxide films deposited by Plasma Enhenced Atomic Layer Deposition 이은주, 김범용, 고명균, 박종완 한국재료학회 2005년 봄 학술대회 |
