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FED용 ZnO:Zn 박막제조를 위한 MOCVD 반응기의 해석|An Analysis of MOCVD Reactor for ZnO:Zn Thin Film Phosphor of FED
박일우, 윤도영, 한춘, 전병수, 유재수|I.-W.Park, D.-Y.Yoon, C.Han, B.S.Jeon, J.-S.Yoo
한국화학공학회 1997년 가을 학술대회 |
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화학증착에 의한 복합 알루미나 지지체 내에서의 실리카막 제조 과정 연구|Formation of SiO2 membranes in the pores of composite alumina supports using a CVD technique
이희준, 남석우, 하흥용, 홍성안, 엄희문|H.J.Lee, S.W.Nam, H.Y.Ha, S.A.Hong, H.M.Eum
한국화학공학회 1997년 가을 학술대회 |
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Hexafluoroacetylacetonate Copper(I) Allyltrimethylsilane을 이용한 초고집적 회로용 구리 박막의 유기금속 화학증착|Chemical Vapor Deposition of Copper from Hexafluoroacetylacetonate Copper(I) Allyltrimethylsilane
손종훈, 박만영, 이시우|Jong-Hoon Son, Man-Young Park, Shi-Woo Rhee
한국화학공학회 1997년 가을 학술대회 |
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EQCM를 사용한 산화아연 박막의 전기화학적인 증착기구에 관한 연구|Investigation of the Deposition Mechanism of the Zinc Oxide Thin Film Growth with EQCM
이재영, 탁용석|Jaeyoung Lee, Yongsug Tak
한국화학공학회 1997년 가을 학술대회 |
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TMEDAA를 이용한 알루미늄 박막의 유기금속 화학증착에 관한 연구|Study on the Metalorganic Chemical Vapor Deposition (MOCVD) of Aluminum Thin Film from Tetramethylethylenediamine Alane (TMEDAA)
김대환, 박만영, 이시우|Dae-Hwan Kim, Man-Young Park, Shi-Woo Rhee
한국화학공학회 1997년 가을 학술대회 |
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BaTiO3박막형성에 미치는 pH의 효과|The Effect of pH on the Synthesis of BaTiO3 Thin Film
강진욱, 탁용석|Jinwook Kang, Yongsug Tak
한국화학공학회 1997년 가을 학술대회 |
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유기금속화학증착법에 의한 Boron Nitride의 제조|Preparation of Boron Nitride Thin Films By MOCVD
진용기, 주재백, 이중기, 박달근|Yong-Gi Jin, Jeh-Beck Ju, Joong Kee Lee, Dalkeun Park
한국화학공학회 1997년 가을 학술대회 |
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회전도포법에 의한 텅스텐금속박막의 제조와 응용|Preparation and application of tungsten metal film by spin coating
이정호, 이관영|Jung-Ho Lee, Kwan-Young Lee
한국화학공학회 1997년 가을 학술대회 |
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CVD법에 의한 Li/Nb산화물 박막 제조|Preparation of Lithium Niobium Oxide Film by Chemical Vapor Deposition.
신영식, 문희, 박흥철|Young Sik Shin, Hee Moon, Heung Chul Park
한국화학공학회 1997년 가을 학술대회 |
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RTP 공정에 대한 모델링 및 제어|Modeling and Control of Rapid Thermal Processing
박형진, 복진광, 박선원|Hyung-Jin Park, Jinkwang Bok, Sunwon Park
한국화학공학회 1997년 봄 학술대회 |
