화학공학소재연구정보센터(CHERIC) | 연구정보 | 문헌DB

학술대회 목록보기

번호	제목
68	반도체 세정기술의 개발 동향 백귀종 한국공업화학회 2008년 가을 학술대회
67	Plasma손상된methyl dopedlow-k dielectric film의 scCO₂내에서 실릴화 복원성능연구 정재목, 임권택, 임주영 한국공업화학회 2008년 가을 학술대회
66	scCO2를 이용한 다공성 low k 박막의 고성능 복원방법 정재목, 임주영, 임권택 한국공업화학회 2008년 봄 학술대회
65	Synthesis and Characterization of Organic Low Dielectric Constant Materials Containing Adamantane. 안수미, 김동욱, 김수지, 강영구, 이창진, 금삼록 한국고분자학회 2007년 가을 학술대회
64	Structural Analysis of Nanoporous Low-Dielectric Constant SiCOH Films using Organosilane Precursors 허규용, 박성규, 윤진환, 진상우, 이시우, 이문호 한국고분자학회 2007년 봄 학술대회
63	Epoxy-POSS를 포함한 폴리이미드 복합막의 유전체적 성질 최승혁, 장원봉, 이석규, 김대학, 한학수 한국고분자학회 2007년 봄 학술대회
62	Preparation and Characterization of Porous Polyimide using Block Copolymer as Template 손민수, 하창식 한국고분자학회 2007년 봄 학술대회
61	Polyimide Nanocomposite Thin Films Containing Epoxy Functionalized Octavinylpentacyclo(octasiloxane) with Low-level Dielectric Constant for Electronic Devices 최승혁, 이석규, 조성민, 한학수 한국화학공학회 2007년 가을 학술대회
60	구리배선에서 식각후잔류물에 대한 세정액의 특성 연구 고천광, 이원규 한국화학공학회 2007년 가을 학술대회
59	Atomic layer deposition of TiO₂ thin films using NH₃ gas as a non-oxidizing reactant gas. 권세훈, 김성욱, 강상원 한국재료학회 2007년 가을 학술대회