화학공학소재연구정보센터
번호 제목
2 액적화학증착법을 이용하여 제조한 (Pb, Sr)TiO3 박막의 특성분석|Characterization of (Pb, Sr)TiO3 thin films prepared by liquid source misted chemical deposition
정현진, 우성일|Hyun Jin Chung, Seong Ihl Woo
한국화학공학회 2000년 봄 학술대회
1 액적화학증착법을 이용한 초고집적 DRAM capacitor용 (Pb, Sr)TiO3(PST) 박막|(Pb, Sr)TiO3(PST) thin films for ULSI DRAM capacitor prepared by liquid source misted chemical deposi
정현진, 정숙진, 우성일|Hyun Jin Chung, Suk Jin Chung, Seong Ihl Woo
한국화학공학회 1999년 가을 학술대회