번호 | 제목 |
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액적화학증착법을 이용하여 제조한 (Pb, Sr)TiO3 박막의 특성분석|Characterization of (Pb, Sr)TiO3 thin films prepared by liquid source misted chemical deposition 정현진, 우성일|Hyun Jin Chung, Seong Ihl Woo 한국화학공학회 2000년 봄 학술대회 |
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액적화학증착법을 이용한 초고집적 DRAM capacitor용 (Pb, Sr)TiO3(PST) 박막|(Pb, Sr)TiO3(PST) thin films for ULSI DRAM capacitor prepared by liquid source misted chemical deposi 정현진, 정숙진, 우성일|Hyun Jin Chung, Suk Jin Chung, Seong Ihl Woo 한국화학공학회 1999년 가을 학술대회 |