| 번호 | 제목 |
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하이브리드 플라즈마를 이용한 구리산화물 제거 및 특성 연구 고천광, 이원규 한국공업화학회 2011년 봄 학술대회 |
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Nanoporous Low-k Allyltrimethylsilane (ATMS) Films Deposited by Plasma Enhanced Chemical Vapor Deposition (PECVD) 박종민, 정희태 한국고분자학회 2010년 가을 학술대회 |
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신규 가교제를 이용한초저유전화 고강도 실세스키옥산 매트릭스의 개발 오성연, 최승석, 이희승, 황승상, 최형민, 백경열 한국고분자학회 2010년 가을 학술대회 |
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화학소재의 내열/수축 및 유전특성 제어기술 전현애, 원종찬, 백경열, 이석현 한국고분자학회 2010년 봄 학술대회 |
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Novel Crosslinked Methylsilsesquioxane Matrix with Cyclic-methyl-tetra-silanol(2D-linker)for Low-k and High-Modulus 오성연, 최승석, 이희승, 황승상, 최형민, 백경열 한국고분자학회 2010년 봄 학술대회 |
| 93 |
Effect of Ozone Treatment on Nanoporous Ultralow Dielectrics 최규윤, 강일용, 신보라, 이희우 한국고분자학회 2010년 봄 학술대회 |
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상압플라즈마에 의한 구리산화물의 용해 특성 연구 고천광, 이원규 한국화학공학회 2010년 가을 학술대회 |
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Preceramic Polymer를 이용한 SiOC(-H) 저유전 박막의 제조 이정현, 이윤주, 김수룡, 정현상, 김형순, 김영희 한국재료학회 2010년 가을 학술대회 |
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SiOC low k thin film via solution process. 김정주, 이윤주, 김수룡, 김영희, 최두진 한국재료학회 2010년 봄 학술대회 |
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Cu/low-k BEOL공정에서의 혼합세정액의 개발 및 세정공정 특성 연구 고천광, 이원규 한국공업화학회 2010년 봄 학술대회 |
