| 번호 | 제목 |
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고집적 메모리 소자를 위한 Pt 전극의 Etching 특성|Etching Characteristics of Platinum Electrode for High Density Memory Devices 임동규, 김종성, 정지원|Dongkyu Lim, Jongsung Kim, Chee Won Kim 한국화학공학회 1999년 가을 학술대회 |
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비휘발성 반도체 메모리 응용을 위한 유도결합 플라즈마에서 Pt/PZT/Pt 박막 커패시터의 건식 식각|Dry Etching of Pt/PZT/Pt Thin Film Capacitors in an Inductively Coupled Plasma (ICP) for Nonvolatile Memory 정지원, 김창정|Chee Won Chung, Chang Jung Kim 한국화학공학회 1997년 봄 학술대회 |
