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GaN 증착에 사용되는 Modified Hydride VPE 공정의 열역학적 해석|Thermodynamic Analysis of the Modified Hydride VPE Process used for GaN Deposition
서정찬, 최진식, 이관석, 윤덕선, 여석기, 박진호|Jeongchan Seo, Jinsik Choi, Kwansuk Lee, Deoksun Yoon, Seokki Yeo, Chinho Park
한국화학공학회 2000년 가을 학술대회 |
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Modified Hydride VPE 법을 이용한 Sapphire 기판 상의 GaN 성장에 관한 연구|Studies on the Growth of GaN Films on Sapphire Substrates by Modified Hydride VPE Technique
윤덕선, 여석기, 서정찬, 최진식, 최순욱, 이관석, 박진호|Deoksun Yoon, Seokki Yeo, Jeongchan Seo, Jinsik Choi, Sunuk Choi, Kwansuk Lee an
한국화학공학회 2000년 가을 학술대회 |
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OMVPE법에 의해 성장된 Sapphire 기판위의 GaN 박막의 특성 분석|Characterization of GaN Thin Films grown on Sapphire Substrate by OMVPE Technique
최진식, 박진호|Jinsik Choi, Chinho Park
한국화학공학회 2000년 가을 학술대회 |
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Modified Hydride VPE 법에 의한 GaN 성장에 관한 연구|Studies on the Growth of GaN Films by Modified Hydride VPE Technique
최진식, 서정찬, 윤덕선, 여석기, 박진호|Jinsik Choi, Jungchan Seo, Deoksun Yoon, Seokki Yeo, Chinho Park
한국화학공학회 2000년 봄 학술대회 |
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Modified Hydride VPE법을 이용한 GaN 증착 공정의 열역학적 해석|Thermodynamic Analysis of the GaN Deposition Processesin a Modified Hydride VPE Reactor
서정찬, 최진식, 윤덕선, 여석기, 박진호|Jeongchan Seo, Jinsik Choi, Deoksun Yoon, Seokki Yeo, Chinho Park
한국화학공학회 2000년 봄 학술대회 |
