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수처리용 분리막 관련 기술의 특허출원동향
장낙용
한국화학공학회 2007년 봄 학술대회 |
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오존수를 이용한 실리콘 웨이퍼 연마 후 지용성 왁스 제거 효율 및 습식 세정 공정의 최적화에 관한 연구
이재환, 이승호, 김태곤, 박진구
한국재료학회 2007년 봄 학술대회 |
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I2 촉매 변화에 따른 Aluminum iso-propoxide의 수율 변화 및 특성 평가
이범석, 정재식
한국공업화학회 2007년 가을 학술대회 |
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Cleanliness Evaluation of Electronic Parts Using Ozonized DI Water Rinse System
하순효, 한종필, 이병철, 최진열, 강두환
한국공업화학회 2007년 봄 학술대회 |
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초저이온농도에서 혼합층이온교환기의 실리카제거능에 대한 유입수의 농도 및 유속의 영향
노병일, 윤태경, 이강춘
한국화학공학회 2006년 가을 학술대회 |
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과산화수소를 대체하여 고농도의 오존수를 사용한 SC1의 오염물 제거 효율 평가
이승호, 박진구, 이상호, 김태곤, 권태영
한국재료학회 2006년 봄 학술대회 |
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The effects of electrodeposition mode on the surface morphology and crystal structure of copper electrodeposition.
우태규, 설경원, 박일송, 우경녕, 이현우
한국재료학회 2006년 봄 학술대회 |
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리그닌 첨가에 의한 시멘트 특성 개선
박준석, 김승호, 박영구, 심재홍, 조영민
한국공업화학회 2006년 가을 학술대회 |
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RCA 반도체 습식 세정 공정 중 오존을 이용한 SC1 세정을 위한 최적화 연구|The Study of Optimized Process Condition using Ozone for SC1 Solution in RCA Wet Cleaning Process
이승호, 이상호, 김규채, 권태영, 박진구, 배소익, 김인정, 이건호
한국재료학회 2005년 가을 학술대회 |
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세정 성능 평가를 위한 실리콘 웨이퍼 표면에서의 입자 오염 방법|Particle Contamination Method on Si Wafer Surface for Evaluation of Cleaning Efficiency
김규채, 권태영, 이승호, 이상호, 박진구
한국재료학회 2005년 가을 학술대회 |
