| 45 |
Ultralarge-area block copolymer lithography using self-assembly assisted photoresist pre-pattern
진형민, 김상욱
한국고분자학회 2011년 가을 학술대회 |
| 44 |
Vapor-phase deposited conducting polymeric films and their applications
임성갑
한국고분자학회 2011년 봄 학술대회 |
| 43 |
HybridBlock Copolymer Lithographyfor UltraLarge Area PatterningCombined withDisposable Photoresist Prepatterning
김주영, 정성준, 문형석, 김봉훈, 김상욱
한국고분자학회 2011년 봄 학술대회 |
| 42 |
Vapor-phase deposited conducting polymeric films and their applications
임성갑
한국화학공학회 2011년 가을 학술대회 |
| 41 |
ILD CMP 공정에서 실리콘 산화막의 기계적 성질이 Scratch 발생에 미치는 영향
조병준, 권태영, 김혁민, 박진구
한국재료학회 2011년 가을 학술대회 |
| 40 |
Si3N4/SiO2 고선택비 인산 습식 에칭기술 개발
배진성, 오지숙, 서동완, 임상우
한국화학공학회 2011년 봄 학술대회 |
| 39 |
Self-Organization and Phase Separation for Patterned Structures
정운룡, 박민우, 박추진, 현동춘
한국재료학회 2011년 봄 학술대회 |
| 38 |
Effects of nitrogen reactive gas on PEALD TaNx diffusion barrier for Cu interconnect
박재형, 문대용, 한동석, 신새영, 박종완
한국재료학회 2011년 봄 학술대회 |
| 37 |
Directed Assembly of Block Copolymer via Soft-Graphoepitaxy
정성준, 문형석, 김주영, 김봉훈, 김상욱
한국고분자학회 2010년 봄 학술대회 |
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Si3N4/SiO2 고선택비 인산 습식에칭기술 연구
정준의, 윤미현, 오지숙, 임상우
한국화학공학회 2010년 가을 학술대회 |
