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A Proposed Method on Determination of Destruction and Removal Efficiency (DRE) for Perfluorocompounds (PFCs) by Gas Scrubbers 강남구, 이진복, 문동민, 이정순, 김광섭, 김진석 한국화학공학회 2008년 봄 학술대회 |
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대용혈액을 이용한 기체교환의 향상 김기범, 전설희, 이문영, 정우석, 박재관, 김성종, 강형섭, 김진상, 김민호, 홍철운 한국화학공학회 2008년 봄 학술대회 |
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Deep Si Etching using SF6/C4F8 and SF6/C4F6 Plasmas 권혁규, 박병훈, 우상호, 김창구 한국화학공학회 2008년 봄 학술대회 |
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SF6 혼합가스의 Hydrate화를 통한 분리·회수 연구 문동현, 이강우, 석민광, 신형준 한국공업화학회 2008년 가을 학술대회 |
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Optimization of Deep Si Etching using C4F8/SF6 and C4F6/SF6 Plasmas 권혁규, 박병훈, 김창구 한국공업화학회 2008년 봄 학술대회 |
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Investigation of Etch Characteristics of Deep Si Etching in PFC- and UFC-containing Plasmas 이형무, 권혁규, 우상호, 김일욱, 김창구 한국화학공학회 2007년 가을 학술대회 |
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Compariosn of etch characteristics in deep Si etching using PFC- and UFC-containing plasmas 이형무, 김창구 한국화학공학회 2007년 봄 학술대회 |
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Characteristics of Polymer Films deposited in PFC- and UFC-containing Plasmas during the Bosch Process 권혁규, 이형무, 김창구 한국화학공학회 2007년 봄 학술대회 |
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탄소 흡착제에 의한 PFC surfactant의 흡착 특성 윤인호, 정종헌, 문제권, 최왕규, 유승곤 한국화학공학회 2006년 가을 학술대회 |
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Environment-Friendly Plasma Etching of High Aspect Ratio Deep Si 이형무, 박창한, 김창구 한국화학공학회 2006년 가을 학술대회 |