화학공학소재연구정보센터
번호 제목
27 A Proposed Method on Determination of Destruction and Removal Efficiency (DRE) for Perfluorocompounds (PFCs) by Gas Scrubbers
강남구, 이진복, 문동민, 이정순, 김광섭, 김진석
한국화학공학회 2008년 봄 학술대회
26 대용혈액을 이용한 기체교환의 향상
김기범, 전설희, 이문영, 정우석, 박재관, 김성종, 강형섭, 김진상, 김민호, 홍철운
한국화학공학회 2008년 봄 학술대회
25 Deep Si Etching using SF6/C4F8 and SF6/C4F6 Plasmas
권혁규, 박병훈, 우상호, 김창구
한국화학공학회 2008년 봄 학술대회
24 SF6 혼합가스의 Hydrate화를 통한 분리·회수 연구
문동현, 이강우, 석민광, 신형준
한국공업화학회 2008년 가을 학술대회
23 Optimization of Deep Si Etching using C4F8/SF6 and C4F6/SF6 Plasmas
권혁규, 박병훈, 김창구
한국공업화학회 2008년 봄 학술대회
22 Investigation of Etch Characteristics of Deep Si Etching in PFC- and UFC-containing Plasmas
이형무, 권혁규, 우상호, 김일욱, 김창구
한국화학공학회 2007년 가을 학술대회
21 Compariosn of etch characteristics in deep Si etching using PFC- and UFC-containing plasmas
이형무, 김창구
한국화학공학회 2007년 봄 학술대회
20 Characteristics of Polymer Films deposited in PFC- and UFC-containing Plasmas during the Bosch Process
권혁규, 이형무, 김창구
한국화학공학회 2007년 봄 학술대회
19 탄소 흡착제에 의한 PFC surfactant의 흡착 특성
윤인호, 정종헌, 문제권, 최왕규, 유승곤
한국화학공학회 2006년 가을 학술대회
18 Environment-Friendly Plasma Etching of High Aspect Ratio Deep Si
이형무, 박창한, 김창구
한국화학공학회 2006년 가을 학술대회