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Effect of Annealing in Low Oxygen Ambient on Self-Forming Diffusion Barrier with Cu-V Alloy Material.
강민수, 박재형, 한동석, 박종완
한국재료학회 2014년 가을 학술대회 |
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Atomic layer deposition for advanced Cu metallization
Soo-Hyun Kim
한국재료학회 2014년 봄 학술대회 |
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Investigation about TaN diffusion barrier properties of Cu gate TFT with Al2O3 and HfO2 gate insulator
김동현, 김형준, 우황제, 남태욱, 정한얼
한국재료학회 2014년 봄 학술대회 |
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Low Temperature Preparation and Characterization of Solid Oxide Fuel Cells on FeCr-Based Alloy Support by Aerosol Deposition
최종진, 안철우, 류정호, 한병동, 김종우, 윤운하, 박동수
한국재료학회 2014년 봄 학술대회 |
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Self-forming Ti oxide barrier for nanoscale Cu interconnects created by hybrid atomic layer deposition (ALD) of Cu-Ti alloy
박재형, 한동석, 강민수, 박종완
한국재료학회 2014년 봄 학술대회 |
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Characteristics of Organic Barrier layer using Layer-by-Layer deposition method
정대균, 이치영, 이재갑
한국재료학회 2014년 봄 학술대회 |
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Self-forming Ti oxide barrier for nanoscale Cu interconnects created by hybrid atomic layer deposition (ALD) of Cu-Ti alloy
한국재료학회 2014년 봄 학술대회 |
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Gas diffusion barrier of nanolaminate multilayer structures for thin-film encapsulation of flexible OLED
임세희, 서승우, 남주오, 전태현, 조성민
한국화학공학회 2014년 봄 학술대회 |
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Superamphiphobic Silicon Nanowire Patterns For Membrane-Free Microfluidic System And Efficient Gas-Liquid Chemical Applications
고동현, 김동표
한국공업화학회 2014년 가을 학술대회 |
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Mo/MoN/Mo 다층 전극을 이용한 CIGS 흡수층 MoSe 두께 조절
권민수, 전찬욱, 김수현, 김한길
한국공업화학회 2014년 봄 학술대회 |
