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학술대회 목록보기

번호	제목
44	Formation of double side layers by atomic layer deposition for barrier property enhancement 은지혜, 김현기, 김성수 한국공업화학회 2016년 가을 학술대회
43	The effect of HfO₂ Films using Atomic Layer Deposition in accordance with thermal decomposition temperature of Tetrakis(ethylmethylamino)hafnium [TEMAHf] 오남근, 안종기, 강고루, 김소연, 김진태, 윤주영 한국공업화학회 2016년 봄 학술대회
42	QMS 신호의 FFT와 Histogram 분석을 이용한 Al₂O₃ ALD 공정진단 강고루, 윤주영, 안종기, 오남근, 남민우 한국공업화학회 2016년 봄 학술대회
41	Multiplication of Graphoepitaxially Assembled Lamellar Pattern via Atomic layer Deposition for 5 nm Scale Nanopatterning 전현욱, 김상욱 한국고분자학회 2015년 봄 학술대회
40	Crystallinity and energy band structure of atomic layer deposited ZrO2 films using Cp-Zr precursor Hyoseok Song, Hyeongtag Jeon 한국재료학회 2015년 봄 학술대회
39	Atomic Layer Deposition of Al₂O₃ thin films using a new metallorganic precursor. 장병현, 이현정, 홍태은, 장동학, 여소정, 박정우, 김수현 한국재료학회 2015년 봄 학술대회
38	5-nm-scale Line and Hole Patterning by Synergistic Integration of Block Copolymer Nanopatterning withe Atomic Layer Deposition 장재호, 박귀용, 남대근, 문형석 한국재료학회 2015년 봄 학술대회
37	Diode Characteristics of n-ZnO/p-Si Heterojunction fabricated by Atomic Layer Deposition Using Diethylzinc and 1,5-Pentanediol 한승주, 신석희, Zhenyu Jin, 고동현, 민요셉 한국화학공학회 2015년 봄 학술대회
36	Sub-10 nm TiO₂ Nanosheet Arrays by Incorporating the Spacer-Defined Double-Patterning Process with Block Copolymer Template 박창홍, 조경천, 정경옥, 김진백 한국고분자학회 2014년 가을 학술대회
35	Graphoepitaxally assembled block copolymer pattern multiplication assisted by atomic layer deposition for sub-10-nm scale nanopatterning 전현욱, 문형석, 김상욱 한국고분자학회 2014년 가을 학술대회