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학술대회 목록보기

번호	제목
55	Narrow gap filling in 25 nm shallow trench isolation using highly porous organosilica LEE JAMES SANGMIN, 장정식 한국공업화학회 2014년 가을 학술대회
54	Disposable Photoresist Prepatterning Lithography of Ultralarge-Area Block Copolymer 백정은, 김주영, 문형석, 김상욱 한국고분자학회 2013년 가을 학술대회
53	Through-silicon-via metallization using Cu electrodeposition with void-free bottom-up filling 김회철, 조지윤, 김명준, 최승회, 서혁진, 함유석, 이동형, 정 일, 조원섭, 김재정 한국화학공학회 2013년 가을 학술대회
52	대면적 ECR 플라즈마 소스를 이용한 배선공정용 구리시드막 증착 장수욱, 유현종, 김영우, 정용호, 황인욱, 박재양, 이헌 한국재료학회 2013년 봄 학술대회
51	Directional Self Assembly of Block Copolymer in Metal Oxide Template via Multilevel Nanoimprint Lithography 문정호, 신동옥, 문형석, 김주영, 진형민, 최영주, 차승근, 김상욱 한국고분자학회 2012년 가을 학술대회
50	Graphoepitaxy of Block Copolymer Self-Assembly Integrated with Single Step ZnO Nanoimprint 문정호, 신동옥, 김상욱 한국고분자학회 2012년 봄 학술대회
49	Large scale area nano lithography via self assembled block copolymer with photoreist pattern 진형민, 정성준, 문형석, 김봉훈, 김주영, 김상욱 한국고분자학회 2012년 봄 학술대회
48	트렌치형 센서 플랫폼 기반 네트워크 나노선 가스센서의 제조 및 감응특성 Fabrication and sensing properties of networked nanowire gas sensors based on trench sensor platform 선건주, 김상섭 한국재료학회 2012년 가을 학술대회
47	첨가물을 통한 Si₃N₄/SiO₂ 고선택비 인산 습식 에칭기술 개발 배진성, 임상우, 서동완, 박찬형 한국화학공학회 2012년 봄 학술대회
46	Effects of hydrogen and ammonia partial pressure on MOCVD Co/TaN_x layer for Cu direct electroplating 박재형, 문대용, 한동석, 윤돈규, 박종완 한국재료학회 2012년 봄 학술대회