| 번호 | 제목 |
|---|---|
| 6 |
Submicron- and Nano-scale Patterning of Polydimethylsiloxane Resist Structures on Electronic Materials using Decal Transfer Lithography and Reactive Ion Etching 안희준, Anne Shim, Ralph G. Nuzzo 한국고분자학회 2005년 가을 학술대회 |
| 5 |
Patterned Nano-dot Array Using Capillary Force Lithograpy and Block Copolymer Template 장세규, 양승만 한국고분자학회 2005년 봄 학술대회 |
| 4 |
Fabrication of Nanoscopic Templates by Block Copolymer and Supramolecular Self-Assemblies 권기영, 최대근, 양승만, 정희태 한국화학공학회 2004년 봄 학술대회 |
| 3 |
SiO2 hard mask를 이용한 자성 박막의 건식 식각 송영수, 신 별, 정지원 한국화학공학회 2003년 가을 학술대회 |
| 2 |
고종횡비 실리콘 트랜치 건식식각 공정에 관한 연구|Profile control of high aspect ratio silicon trench etch using SF6/O2/BHr plasma chemistry 함동은, 신수범, 안진호 한국재료학회 2003년 가을 학술대회 |
| 1 |
초미세 메모리 커패시터의 전극형성을 위한 식각 기술|Patterning issues for the fabrication of sub-micron memory capacitors' electrodes 김현우 한국재료학회 2003년 가을 학술대회 |
