| 번호 | 제목 |
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| 166 |
Focus ring의 재질 및 구조 변화를 통한 Focus ring의 etch resistance 향상에 관한 연구 김수강, 양경채, 이호석, 이수정, 이원오, 염근영 한국재료학회 2017년 봄 학술대회 |
| 165 |
원자층증착법을 이용한 수직채널 산화물반도체 박막트랜지스터 제작 및 평가 김여명, 김기현, 윤성민 한국재료학회 2017년 봄 학술대회 |
| 164 |
HARC 식각을 위한 pulsed triple frequency 효과에 대한 연구 양경채, 김수강, 이호석, 성다인, 염근영 한국재료학회 2017년 봄 학술대회 |
| 163 |
Control of the contact hole diameter by advanced cyclic etching 박창진, 김창구 한국화학공학회 2016년 가을 학술대회 |
| 162 |
Insulation Shield를 이용한 Through-Mask Electrochemical Micromachining공정의 균일도 개선 김명준, 류헌열, 박진구 한국재료학회 2016년 가을 학술대회 |
| 161 |
NF3/H2O의 혼합 가스 플라즈마를 이용한 실리콘 산화막 건식 식각 공정 최적화 및 오염물 최소화에 대한 연구 이구봉, 김현태, 김민수, 최인찬, 장성해, 박진구 한국재료학회 2016년 가을 학술대회 |
| 160 |
습식 에칭한 MoNi/Cu기반 다층 전극 구조를 적용한 IGZO 박막 트랜지스터 윤대호, 김다은, 조형균 한국재료학회 2016년 가을 학술대회 |
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블록 공중합체 리소그래피, 광화학 증착을 이용하여 제작한 Ag-TiO2 나노 튜브의 광촉매 효과에 관한 연구 성다인, 오종식, 오지수, 염근영 한국재료학회 2016년 가을 학술대회 |
| 158 |
Effect of the dual synchronous pulsed plasma on the etch characteristics of SiO2 이호석, 양경채, 박성우, 염근영 한국재료학회 2016년 봄 학술대회 |
| 157 |
TMEMM공정을 이용한 Fine Metal Mask 제작 공정개발 김명준, 류헌열, 박진구 한국재료학회 2016년 봄 학술대회 |
