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Block Copolymer-Templated Nanostructure Arrays using Atomic Layer Deposition 권세훈 한국재료학회 2017년 가을 학술대회 |
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Film Characteristics of low-k SiOC deposited by Atomic Layer Deposition 권영균, 전형탁 한국재료학회 2017년 가을 학술대회 |
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Low-Voltage 2D Material Field-Effect Transistors Enabled by Ion Gel Capacitive Coupling 최용석, 조정호 한국공업화학회 2017년 봄 학술대회 |
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Structural reliability evaluation of low-k nanoporous dielectric interlayers integrated into microelectric devices 허규용, 브라이언 지원 리, 이호열, 최경근, 이문호 한국고분자학회 2016년 봄 학술대회 |
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Atomic Layer Deposited Gate Spacer for New Memory Devices 이재민, 장우출, 김현정, 권영균, 전형탁 한국재료학회 2016년 가을 학술대회 |
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Characteristics of silicon oxy-carbide deposited by RPALD using OMCTS 이재민, 장우출, 김현정, 권영균, 전형탁 한국재료학회 2016년 봄 학술대회 |
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Charge transport in DPP based ambipolar semiconducting polymers 이지열 한국공업화학회 2016년 봄 학술대회 |
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Characterization of Cu-Mn/Ta layer as Cu diffusion barrier on low-k dielectric 강민수, 박재형, 한동석, 정연재, 박종완 한국재료학회 2015년 봄 학술대회 |
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Effect of Annealing in Low Oxygen Ambient on Self-Forming Diffusion Barrier with Cu-V Alloy Material. 강민수, 박재형, 한동석, 박종완 한국재료학회 2014년 가을 학술대회 |
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Fabrication of mesoporous organosilica in a shallow nanotrench for low-k and high elastic modulus material application LEE JAMES SANGMIN, 장정식 한국공업화학회 2014년 가을 학술대회 |