화학공학소재연구정보센터
번호 제목
154 Universal plasma etch reaction modeling for fluorocarbon plasma processes
유혜성, 임연호, 육영근, 박재형, 유동훈, 윤국현
한국화학공학회 2019년 봄 학술대회
153 Plasma etching of SiO2 using perfluoropropyl vinyl ether
박진수, 김준현, 김창구
한국화학공학회 2019년 봄 학술대회
152 Numerical 3D simulation of plasma etch profile with real plasma chemistry
박재형, 유혜성, 육영근, 오민주, 유동훈, 임연호
한국화학공학회 2019년 봄 학술대회
151 Pseudocapacitve layer-coated 3D carbon pattern electrodes for micro-supercapacitors
김철호, 문준혁
한국공업화학회 2019년 가을 학술대회
150 Additive gas effects in fluorocarbon-based plasma etching chemistry
박재형, 장원석, 유동훈, 육영근, 유혜성, 임연호
한국화학공학회 2018년 가을 학술대회
149 Plasma etching of SiO2 using hexafluoroisopropanol
박진수, 김준현, 김창구
한국화학공학회 2018년 가을 학술대회
148 Plasma etching of SiO2 using low-GWP etchants
박진수, 김준현, 김창구
한국화학공학회 2018년 봄 학술대회
147 Use of heptafluoroisopropyl methyl ether for plasma etching of SiO2
박진수, 김준현, 김창구
한국화학공학회 2018년 봄 학술대회
146 Real-time HCl detection using functionalized ZnO nanowire device
김정수, 조윤성, 지건구, 김진태, 임연호
한국화학공학회 2018년 봄 학술대회
145 Surface reaction modeling for oxygen effect in fluorocarbon plasma etch process
유혜성, 육영근, 유동훈, 임연호, 박재형
한국화학공학회 2018년 봄 학술대회