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Universal plasma etch reaction modeling for fluorocarbon plasma processes 유혜성, 임연호, 육영근, 박재형, 유동훈, 윤국현 한국화학공학회 2019년 봄 학술대회 |
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Plasma etching of SiO2 using perfluoropropyl vinyl ether 박진수, 김준현, 김창구 한국화학공학회 2019년 봄 학술대회 |
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Numerical 3D simulation of plasma etch profile with real plasma chemistry 박재형, 유혜성, 육영근, 오민주, 유동훈, 임연호 한국화학공학회 2019년 봄 학술대회 |
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Pseudocapacitve layer-coated 3D carbon pattern electrodes for micro-supercapacitors 김철호, 문준혁 한국공업화학회 2019년 가을 학술대회 |
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Additive gas effects in fluorocarbon-based plasma etching chemistry 박재형, 장원석, 유동훈, 육영근, 유혜성, 임연호 한국화학공학회 2018년 가을 학술대회 |
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Plasma etching of SiO2 using hexafluoroisopropanol 박진수, 김준현, 김창구 한국화학공학회 2018년 가을 학술대회 |
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Plasma etching of SiO2 using low-GWP etchants 박진수, 김준현, 김창구 한국화학공학회 2018년 봄 학술대회 |
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Use of heptafluoroisopropyl methyl ether for plasma etching of SiO2 박진수, 김준현, 김창구 한국화학공학회 2018년 봄 학술대회 |
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Real-time HCl detection using functionalized ZnO nanowire device 김정수, 조윤성, 지건구, 김진태, 임연호 한국화학공학회 2018년 봄 학술대회 |
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Surface reaction modeling for oxygen effect in fluorocarbon plasma etch process 유혜성, 육영근, 유동훈, 임연호, 박재형 한국화학공학회 2018년 봄 학술대회 |