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도전성 배선재료를 위한구리, 산화(I)구리나노 입자의 합성
양해정, 정은구, 김정수, 구상만
한국공업화학회 2010년 봄 학술대회 |
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금속 Ca에 의한 타이타늄의 탈산
서동석, 박건우, 김용찬, 남궁정, 김문철, 송창빈
한국재료학회 2009년 가을 학술대회 |
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용액에 포함된 Amine과 Carboxyl group의 Cu식각잔류물 제거특성
고천광, 김아름, 손향호, 이원규
한국화학공학회 2008년 가을 학술대회 |
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아이오딘 첨가에 의한 Mercaptopropyltrimethoxysilane 단분자막 위에서의 Metal Organic Chemical Vapor Deposition 를 이용한 구리 나노크리스탈 형성 효과
김아라, 박희정, 이치영, 이재갑
한국재료학회 2008년 봄 학술대회 |
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Character of copper films on molybdenum substrate by addition of titanium in an advanced metallization process
홍태기, 이재갑, 한두만
한국재료학회 2007년 봄 학술대회 |
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Seed layer에 따른 구리 전착층의 표면형상 및 결정구조에 미치는 영향
우태규, 설경원, 박일송, 이만형, 박은광, 이현우, 한송희, 이영미, 염보라
한국재료학회 2007년 봄 학술대회 |
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열처리 및 고온다습 조건이 무전해 Ni도금막과 폴리이미드 사이 계면접착력에 미치는 영향
박성철, 민경진, 이지정, 이규환, 이건환, 박영배
한국재료학회 2007년 봄 학술대회 |
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연마제 특성에 따른 차세대 금속배선용 Al CMP (chemical mechanical planarization) 슬러리 개발 및 평가
차남구, 강영재, 김인권, 김규채, 박진구
한국재료학회 2006년 가을 학술대회 |
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Cu ECMP 공정에서 전해질 특성평가 및 첨가제 영향
권태영, 김인권, 박진구
한국재료학회 2006년 가을 학술대회 |
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콜로이달 실리카를 이용한 새로운 텅스텐 슬러리 개발
유영삼, 강영재, 김인권, 홍의관, 박진구, 정석조, 변정환, 김문성
한국재료학회 2006년 봄 학술대회 |
