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Al2O3 and polymer dielectrics of OFET using aqueous anodizing method 신권우, 양상윤, 박찬언 한국고분자학회 2004년 가을 학술대회 |
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Dielectric property of CR-S thin films prepared by spin coating 나문경, B. Chandar Shekar, 이시우 한국화학공학회 2004년 가을 학술대회 |
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Atomic Layer Chemical Vapor Deposition and Characterization of Hafnium Silicate Films 김재현, 용기중 한국화학공학회 2004년 가을 학술대회 |
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Low-k SiCOH Films by Plasma Enhanced Chemical Vapor Deposition using Divinyldimethylsilane 박성규, 이시우 한국화학공학회 2004년 가을 학술대회 |
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반도체 배선용 Cu(Mg) 박막의 전기적 신뢰성 평가|Characterizations of electrical reliabities in Cu(Mg) film for ULSI interconnects 안정욱, 황상수, 김병희, 박영배, 주영창 한국재료학회 2004년 가을 학술대회 |
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Ultra thin ZrxSi1-xO2 with compositional gradation grown on Si (100) using Zr(N(C2H5)2)4 and Si(OC4H9)4 김재현, 용기중 한국화학공학회 2004년 봄 학술대회 |
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전자빔 증발법으로 제조한 Al2O3 박막의 열처리에 의한 특성 평가|Characterization of The Thermal Treatment of Al2O3 Thin Films by E-beam Evaporation Hyun-Wook Ryu, Jin-Seong Park 한국재료학회 2004년 봄 학술대회 |
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Metal gate 적용을 위한 Mo based electrode의 열적 안정성 평가|Thermal stability of Mo based electrode for metal gate application 이진우, 김지영 한국재료학회 2004년 봄 학술대회 |
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Deuterium Plasma처리가 저온 다결정 실리콘 TFT 안정성에 미치는 영향|The Effect of Deuterium Plasma Treatment on Reliability of Low Temperature Polycrystalline Thin Film Transistor 정영균, 박원규, 남영민, 손송호, 김동환 한국재료학회 2004년 봄 학술대회 |
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Atomic layer deposition으로 증착된 Ta2O5 박막의 전도기구에 대한 UV ozone annealing 효과|Effects of UV ozone annealing on conduction mechanism in Ta2O5 thin films deposited by atomic layer deposition 엄다일, 전인상, 노상용, 황철성, 김형준 한국재료학회 2003년 가을 학술대회 |