화학공학소재연구정보센터
번호 제목
18 Al2O3 and polymer dielectrics of OFET using aqueous anodizing method
신권우, 양상윤, 박찬언
한국고분자학회 2004년 가을 학술대회
17 Dielectric property of CR-S thin films prepared by spin coating
나문경, B. Chandar Shekar, 이시우
한국화학공학회 2004년 가을 학술대회
16 Atomic Layer Chemical Vapor Deposition and Characterization of Hafnium Silicate Films
김재현, 용기중
한국화학공학회 2004년 가을 학술대회
15 Low-k SiCOH Films by Plasma Enhanced Chemical Vapor Deposition using Divinyldimethylsilane
박성규, 이시우
한국화학공학회 2004년 가을 학술대회
14 반도체 배선용 Cu(Mg) 박막의 전기적 신뢰성 평가|Characterizations of electrical reliabities in Cu(Mg) film for ULSI interconnects
안정욱, 황상수, 김병희, 박영배, 주영창
한국재료학회 2004년 가을 학술대회
13 Ultra thin ZrxSi1-xO2 with compositional gradation grown on Si (100) using Zr(N(C2H5)2)4 and Si(OC4H9)4
김재현, 용기중
한국화학공학회 2004년 봄 학술대회
12 전자빔 증발법으로 제조한 Al2O3 박막의 열처리에 의한 특성 평가|Characterization of The Thermal Treatment of Al2O3 Thin Films by E-beam Evaporation
Hyun-Wook Ryu, Jin-Seong Park
한국재료학회 2004년 봄 학술대회
11 Metal gate 적용을 위한 Mo based electrode의 열적 안정성 평가|Thermal stability of Mo based electrode for metal gate application
이진우, 김지영
한국재료학회 2004년 봄 학술대회
10 Deuterium Plasma처리가 저온 다결정 실리콘 TFT 안정성에 미치는 영향|The Effect of Deuterium Plasma Treatment on Reliability of Low Temperature Polycrystalline Thin Film Transistor
정영균, 박원규, 남영민, 손송호, 김동환
한국재료학회 2004년 봄 학술대회
9 Atomic layer deposition으로 증착된 Ta2O5 박막의 전도기구에 대한 UV ozone annealing 효과|Effects of UV ozone annealing on conduction mechanism in Ta2O5 thin films deposited by atomic layer deposition
엄다일, 전인상, 노상용, 황철성, 김형준
한국재료학회 2003년 가을 학술대회