번호 | 제목 |
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MOCVD를 이용한 GaN박막 성장 및 특성 연구|Growth and Characterization of GaN film grown by MOCVD 양승현, 김선중, 심현욱, 서영훈, 남기석|S. H. Yang, S. J. Kim, H. W. Shim, Y. H. Seo, K. S. Nahm 한국화학공학회 1998년 봄 학술대회 |
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Chloride VPE (CVPE) 법을 이용한 GaN 증착공정의 열역학적 해석|Thermodynamic Analysis of GaN Deposition Process using Chloride VPE (CVPE) Technique 신희섭, 신무환, 박진호|Heesub Shin, Moo-Whan Shin, Chinho Park 한국화학공학회 1998년 봄 학술대회 |