화학공학소재연구정보센터
번호 제목
8 Block Copolymer Patterning by UVO Etching for large-area Nanolithography
정예슬, 김아라, 김태성, 김소연, 김홍승, 박건식, 김동표, 김주연, 김진식, 백규하, 도이미
한국고분자학회 2011년 봄 학술대회
7 nMOS capping layer La2O3의 습식 에칭 kinetics 및 mechanism 연구
오지숙, 배진성, 서동완, 임상우
한국화학공학회 2011년 가을 학술대회
6 nMOS high-k gate stack 형성을 위한 capping layer의 선택적 에칭
오지숙, 배진성, 서동완, 임상우
한국화학공학회 2011년 봄 학술대회
5 Wet cleaning 공정 시 DI water의 온도에 따른 BPSG 막질의 특성 변화에 대한 연구
장재규, 윤민상
한국재료학회 2010년 봄 학술대회
4 Si Thinning Damage에 의한 Si 웨이퍼 표면의 미세구조 연구
우태기, 유권종, 김은경
한국재료학회 2008년 봄 학술대회
3 Investigation of Silicon Nitride Thin Films Prepared by Atomic Layer Deposition Using Si2Cl6 and NH3 as the Precursors
윤원덕, 나사균, 박광철, 최병준, 이원준, 서정혜, 이연승, 김헌도, 박상기
한국재료학회 2008년 봄 학술대회
2 ALD법으로 증착된 실리콘 절연박막의 물리적·전기적 특성|Physical and Electrical Characteristics of Silicon Dielectric Thin Films by Atomic layer Deposition
한창희, 이주현, 김운중, 이원준, 나사균
한국재료학회 2003년 가을 학술대회
1 NiFe, CoFe 박막의 습식 식각 특성|Wet etch characteristics of NiFe,CoFe thin films
변요한,김혜인,정지원|Yo Han Byun,Hye In Kim,Chee Won Chung
한국화학공학회 2001년 가을 학술대회