번호 | 제목 |
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Characteristics of SiO2 /Si3N4/SiO2 multilayer Grown by Atomic Layer Deposition for Flash memory applications 박광철, 정광수, 윤원덕, 박종욱, 나사균, 이원준 한국재료학회 2007년 봄 학술대회 |
2 |
불소 함유 기능성 스템프를 이용한 상온 저압 자외선 나노 임프린트 공정 최대근, Altun Ali, 이동일, 정준호, 김기돈, 이응숙, 나종주 한국화학공학회 2006년 봄 학술대회 |
1 |
유-무기 혼성몰드를 이용한 나노임프린트 공정 기술 이동일, 정준호, 이응숙, 최대근, 배병수, 김우수 한국화학공학회 2005년 가을 학술대회 |