화학공학소재연구정보센터
번호 제목
3 Characteristics of SiO2 /Si3N4/SiO2 multilayer Grown by Atomic Layer Deposition for Flash memory applications
박광철, 정광수, 윤원덕, 박종욱, 나사균, 이원준
한국재료학회 2007년 봄 학술대회
2 불소 함유 기능성 스템프를 이용한 상온 저압 자외선 나노 임프린트 공정
최대근, Altun Ali, 이동일, 정준호, 김기돈, 이응숙, 나종주
한국화학공학회 2006년 봄 학술대회
1 유-무기 혼성몰드를 이용한 나노임프린트 공정 기술
이동일, 정준호, 이응숙, 최대근, 배병수, 김우수
한국화학공학회 2005년 가을 학술대회