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Effects of nitrogen reactive gas on PEALD TaNx diffusion barrier for Cu interconnect 박재형, 문대용, 한동석, 신새영, 박종완 한국재료학회 2011년 봄 학술대회 |
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Preparation of N-doped TiO2 Thin Film Deposited by PECVD and Evaluation of Its Photocatalytic Characteristics 박 준, 조명덕, 박유정, 정경운, 송선정, 임경택, 조동련 한국화학공학회 2010년 가을 학술대회 |
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Formation of TaNx diffusion barrier using plasma enhanced atomic layer deposition 문대용, 한동석, 김경택, 박종완 한국재료학회 2010년 봄 학술대회 |
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Fabrication of N-doped TiO2 Thin Film Deposited by PECVD and Its Evaluation of Decomposition Activity of Acetaldehyde 박준, 조명덕, 박유정, 송선정, 임경택, 조동련 한국공업화학회 2010년 봄 학술대회 |
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A biocompatible polymeric scaffold as cell-growth supporting biomaterials : Fabrication, characterization and cellular responses 이현욱, 조채용, 박소영, 강윤희 한국고분자학회 2009년 봄 학술대회 |
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Preparation of Heparin-Eluting Stent with TiO2 Coated by using PECVD 박유정, 조동련, 김경석, 송선정, 조명덕 한국화학공학회 2009년 가을 학술대회 |
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Metal Organic Chemical Vapor Deposition법을 이용한 Ge 전구체의 증착특성연구 김봉준, 김선희, 이준기 한국재료학회 2007년 가을 학술대회 |
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CVD/ALD process monitoring system (2)(The evaluation of a precursor using FT-IR spectroscopy, thermal analysis, and the deposition chamber) 강상우, 윤주영, 성대진, 신용현, 이시우, 송문균 한국화학공학회 2006년 가을 학술대회 |
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Effect of O2 partial pressure on magnetic properties of alloys Co-rich nanocrystalline thin films K.E. Lee, L.V. Tho, S.H. Kim, C.G. Kim, C.O.Kim 한국재료학회 2006년 봄 학술대회 |
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Enhanced Interfacial Adhesion between Polymers by Reactive Compatibilization 이지석, 김한성, 서용석, 강태진 한국고분자학회 2005년 가을 학술대회 |