| 번호 | 제목 |
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고밀도 플라즈마를 사용한 polysilicon 박막의 nanometer 크기의 패터닝|Nanometer-sized patterning of polysilicon thin films using a high density plasma 변요한,김혜인,송영수,정지원|Yo Han Byun,Hye In Kim,Young Soo Song,Chee Won Chung 한국화학공학회 2002년 가을 학술대회 |
| 3 |
Cl2/Ar과 C2F6/Ar 가스를 사용한 Polysilicon 박막의 고밀도 플라즈마 식각|High Density Plasma Etching of Polysilicon Thin Film in Cl2/Ar and C2F6/Ar Gases 변요한, 김혜인, 정지원|Yo Han Byun, Hye In Kim, Chee Won Chung 한국화학공학회 2002년 봄 학술대회 |
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강유전체 메모리 소자를 위한 Ir 박막의 고밀도 플라즈마 식각|High Density Plasma Etching of Iridium Thin Film for Ferroelectric Random Access Memory 임동규, 정지원|Dongkyu Lim, Chee Won Chung 한국화학공학회 2000년 봄 학술대회 |
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고집적 메모리 소자를 위한 Pt 전극의 Etching 특성|Etching Characteristics of Platinum Electrode for High Density Memory Devices 임동규, 김종성, 정지원|Dongkyu Lim, Jongsung Kim, Chee Won Kim 한국화학공학회 1999년 가을 학술대회 |
