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다양한 펄스 플라즈마를 이용한 식각 기술 향상을 위한 연구 홍종우, 오지수, 김희주, 김정완, 염근영 한국재료학회 2020년 봄 학술대회 |
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3D NAND 식각 기술에 적용될 신규 L-HFC 식각 기술 연구 탁현우, 성다인, 홍인표, 문룡, 김동우, 염근영 한국재료학회 2020년 봄 학술대회 |
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Poly Si Nano-Pattern Etching Using Cl2/Ar Synchronized, Asynchronized Pulsed Inductively Coupled Plasmas 김희주, 김교운, 홍종우, 오지수, 김정완, 이채린, 염근영 한국재료학회 2020년 봄 학술대회 |
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Development of Dry Etching for the InGaZnO Film using CH4-Based Gas Chemistry with High Volatility of Etch By-Product 조현철, 정재경 한국재료학회 2020년 봄 학술대회 |
182 |
Plasma etching of SiO2 using perfluoropropyl vinyl ether 박진수, 김준현, 김창구 한국화학공학회 2019년 봄 학술대회 |
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니켈 전주도금법으로 제조된 마이크로 금속 메쉬의 특성 허광선, 배영한, 이성찬 한국화학공학회 2019년 봄 학술대회 |
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광열전사 기반 고해상도 OLED 화소 제작을 위한 잉크젯 프린팅 잉크 기술 개발 이영우, 정용철 한국공업화학회 2019년 봄 학술대회 |
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Study on the transparent hydrophobic coating solution derived from perhydropolysilazane and their properties 백정주, 백한솔, 송광식, 김영훈, 장기철, 최경호, 신교직 한국고분자학회 2018년 가을 학술대회 |
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Plasma etching of SiO2 using hexafluoroisopropanol 박진수, 김준현, 김창구 한국화학공학회 2018년 가을 학술대회 |
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C7F14 플라즈마를 이용한 SiO2, Si3N4의 식각 연구 탁현우, 성다인, 양경채, 김수강, 김동우, 염근영 한국재료학회 2018년 가을 학술대회 |