화학공학소재연구정보센터
번호 제목
17 고순도 NH3와 HF의 반응에 의한 NH4F 합성
김영덕, 이철우
한국공업화학회 2012년 가을 학술대회
16 nMOS capping layer La2O3의 습식 에칭 kinetics 및 mechanism 연구
오지숙, 배진성, 서동완, 임상우
한국화학공학회 2011년 가을 학술대회
15 Si wafer의 wet etching 시 etching속도에 미치는 온도 영향
이현용, 서승국, 노재승, 고성우
한국재료학회 2011년 가을 학술대회
14 nMOS high-k gate stack 형성을 위한 capping layer의 선택적 에칭
오지숙, 배진성, 서동완, 임상우
한국화학공학회 2011년 봄 학술대회
13 Si3N4/SiO2 고선택비 인산 습식 에칭기술 개발
배진성, 오지숙, 서동완, 임상우
한국화학공학회 2011년 봄 학술대회
12 Si3N4/SiO2 고선택비 인산 습식에칭기술 연구
정준의, 윤미현, 오지숙, 임상우
한국화학공학회 2010년 가을 학술대회
11 pMOS gate stack capping layer의 고선택비 습식에칭 기술연구
오지숙, 윤미현, 임상우
한국화학공학회 2010년 가을 학술대회
10 초임계 이산화탄소와 HF를 이용한 고 종횡비의 MEMS구조물 건식 에칭기술
정재목, 임권택
한국공업화학회 2010년 봄 학술대회
9 초임계 이산화탄소를 이용한 TEOS 박막 에칭 시 발생되는 잔류물 제거
배재현, 임권택
한국공업화학회 2009년 봄 학술대회
8 Thermal hydrolysis를 이용한 Ti-Zn나노복합산화물의 제조와 광학성질 평가
김수정, 강미숙
한국공업화학회 2008년 봄 학술대회