| 번호 | 제목 |
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TEOS/O3을 이용한 게이트 산화막의 저온 화학증착|Low-temperature chemical vapor deposition (CVD) for gate oxide from TEOS/O3 김효욱, 이시우|Hyo-Uk Kim, Shi-Woo Rhee 한국화학공학회 1996년 가을 학술대회 |
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플라즈마 화학 증착법에 의한 PbTiO3 박막의 증착과 급속열처리 효과|Preparation of PbTiO3 Thin Film by PECVD and RTA Effect 김종화, 한윤봉|Jong-Wha Kim, Yoon-Bong Hahn 한국화학공학회 1996년 가을 학술대회 |
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화학증착법으로 제조한 실리카 / 알루미나 복합막의 기체분리 특성 연구 이준석, 하흥용, 남석우, 홍성안, 김인원 한국화학공학회 1996년 봄 학술대회 |
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화학증착법에 의한 다공성 알루미나 지지체 내에서의 실리카막 제조 과정 연구 이희준, 남석우, 하흥용, 홍성안 한국화학공학회 1996년 봄 학술대회 |
| 7 |
ECR 플라즈마를 이용한 화학증착법및 건식산화법에 의해 제조된 실리콘 산화막의 특성 전법주, 허정수, 오인환, 임태훈, 윤용수, 정일현 한국화학공학회 1996년 봄 학술대회 |
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원거리 플라즈마를 이용한 저온 비정질 실리콘의 화학증착 이성우, 이시우 한국화학공학회 1995년 가을 학술대회 |
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DMEAA 를 이용한 알루미늄 화학증착에서 온도가 박막의 미세구조에 미치는 영향 김병엽, 이시우 한국화학공학회 1995년 가을 학술대회 |
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레이저를 이용한 금속화학증착의 화학공학적 고찰 한재성, Klavs F . Jensen 한국화학공학회 1995년 봄 학술대회 |
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유기금속화학증착된 구리박막의 성장과 비저항 양상 최은석, 박순규, 이홍희 한국화학공학회 1995년 봄 학술대회 |
| 2 |
사일렌을 이용한 열화학증착공정의 기상분해반응 해석 한재현, 문상흡 한국화학공학회 1995년 봄 학술대회 |
