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Tetrakis (dimethylamido) titanium을 이용한 TiN 유기금속 화학증착에서의 기상반응에 대한 연구|Study on the Gas Phase Reaction in Metal-Organic Chemical Vapor Deposition of TiN
윤주영, 박만영, 이시우|Ju-Young Yun, Man-Young Park, Shi-Woo Rhee
한국화학공학회 1997년 봄 학술대회 |
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금속 유기물 화학 증착 공정의 화학 반응 기구에 대한 실험적 관찰|Monitoring of Decomposition Behavior of Metal Oxide Precursors in Chemical Vapor Deposition
정찬화, 조성일, 문상흡|Chan-Hwa Chung, Sung-Il Cho, Sang Heup Moon
한국화학공학회 1997년 봄 학술대회 |
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촉매 방법으로 성장시킨 미세탄소섬유의 제조와 응용|Preparation and Application of Catalytically Grown Carbon Nanofiber
김도영, 김명수|D.Y. Kim, M.S. Kim
한국화학공학회 1997년 봄 학술대회 |
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액상함침전법에 의한 다공성 알루미나 지지체 내에서의γ-Al2O3막 제조 연구|Formation of γ-Al2O3 membranes in the pores of alumina support using an imprecipitation method
안상열, 하흥용, 남석우, 홍성안|S.Y.Ahn, H.Y.Ha, S.W.Nam, S.A.Hong
한국화학공학회 1996년 가을 학술대회 |
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TDEAT를 이용한 TiN 유기금속 화학증착에서 수소와 질소 플라즈마 효과|The Effects of H2 and N2 Plasmain Metal Organic Chemical Vapor Deposition of TiN using TDEAT
윤주영, 이시우|Ju-Young Yun, Shi-Woo Rhee
한국화학공학회 1996년 가을 학술대회 |
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DMEAA를 이용한 알루미늄 유기금속 화학증착공정에서의 기사반응 메카니즘 연구|Study on Gas Phase Reaction Mechanism for Metal Organic Chemical Vapor Deposition (MOCVD) Process of DMEAA
박만영, 윤종호, 이시우|Man-Young Park, Jong-Ho Yun, Shi-Woo Rhee
한국화학공학회 1996년 가을 학술대회 |
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ECR플라즈마를 이용한 화학증착법에 의해 제조된 실리콘 산화막의 전기적특성|Electrical Characteristics of Silicon Oxide Films Prepared by Chemical Vapor Deposition Method Using ECR Plasma
전법주, 허정수, 오인환*, 임태훈*, 윤용수, 정일현|Bup-Ju Jeon, Jung-Soo Heo, In-Hwan Oh*, TaeHoon Lim*, Yong-Soo Youn, Il-Hyun
한국화학공학회 1996년 가을 학술대회 |
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Boron Nitride의 유기금속 화학증착에서의 반응속도론|Kinetics of Metal Organic Chemical Vapor Deposition of Boron Nitride
이상열*, 이중기, 남영우*, 박달근|Sang-Yeol Lee*, Joong-Kee Lee, Young-Woo Nam*, Dalkeun Park
한국화학공학회 1996년 가을 학술대회 |
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솔젤법을 통한 수소분리용 실리카 막의 제조|Preparation of Silica Membrane for H2 Separation by Sol-Gel Process
소재현, 양승만, 박승빈|Jae-Hyun So, Seung-Man Yang, Seung-Bin Park
한국화학공학회 1996년 가을 학술대회 |
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Watkins Johnson System에서 TEOS/오존에 의한 SiO2 화학증착|SiO2 CVD by TEOS/ozone in the Watkins Johnson System
권순현, 선우웅, 김의정|Soon-Hyun Kwon, Woong Sunwoo, Eui Jung Kim
한국화학공학회 1996년 가을 학술대회 |
