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The effect of interaction of MSSQ copolymer and porogen on nanoporous low-k thin film structure
최연승, 김상율*, 진문영**, 이창진**, 차국헌***
한국고분자학회 2002년 가을 학술대회 |
| 7 |
Investigation of Porogen Domains Behavior in Porogen/Poly(methylsilsesquioxane) Hybrids
민성규, 박재만, 송기태, 송민규, 진문영*, 이진규**, 윤도영**, 이희우***
한국고분자학회 2002년 가을 학술대회 |
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고분자전자정보소재 연구동향
박재근
한국고분자학회 2002년 가을 학술대회 |
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The Effects of NH3 Plasma Treatment on the Density Profile of Low Dielectric Organosilicate Films
김수한, 주상현, 차국헌, 한준희*
한국고분자학회 2002년 봄 학술대회 |
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Low-k Nanoporous Thin Films of A Novel Poly(organosilsesquioxane)
민성규, 박재만, 송기태, 이희우, 진문영, 이진규, 윤도영
한국고분자학회 2002년 봄 학술대회 |
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플라즈마 화학 기상 증착법을 이용한 저유전체 박막의 제조 및 특성|Plasma enhanced chemical vapor deposition and characterization of low-k dielectric thin film
김태희,홍주형,한윤봉|Tae-Hee Kim,Joo-Hyung Hong,Yoon-Bong Hahn
한국화학공학회 2001년 가을 학술대회 |
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A Novel Characterization of Nanoporous Structures in Ultra Low-k Films Using Tapping Mode-AFM
주상현, 김연상, 이준구, 차국헌, 진문영*, 윤도영**
한국고분자학회 2001년 봄 학술대회 |
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Metylsilsesquioxane 반도체 저유전 층간 절연막 재료의 졸-겔 합성|The Synthesis of Methylsilsesquiixane low-k dielectrics by sol-gel method
이정훈, 석상일, 이창진, 진문영, 강영구, 서태수, 홍석인|Jung-Hoon Lee, Sang-Il Seok, Chang-Jin Lee, Moon-Young Jin, Yong-Ku Kang, Tae-Soo Suh, Seok-In Hong
한국화학공학회 2000년 봄 학술대회 |
