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In-situ GISAXS study on the porous low-k thin films
허규용, 오원태, 이병두, 윤진환, 이문호
한국고분자학회 2003년 가을 학술대회 |
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Preparation of Low-k Nanoporous Thin Films from Porogen Grafted Poly (methylsilsesquioxane) PMSSQ
차봉준;이진규;차국헌
한국고분자학회 2003년 봄 학술대회 |
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Characterization of Low-k Thin Film Prepared from Structure-controlled PMSSQ Copolymers
최연승;윤도영;이진규;이희우;차국헌
한국고분자학회 2003년 봄 학술대회 |
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Improvement in the Mechanical Properties of Low-k Organosilicate Thin Films
김수한;Yvete Toivola;Robert F. Cook;주상현;이진규;윤도영;차국헌
한국고분자학회 2003년 봄 학술대회 |
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나노 기공 구조를 가지는 절연막의 반도체 응용 현황
정현담
한국고분자학회 2003년 봄 학술대회 |
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CHF3 플라즈마에서 다공성 저유전율 물질 식각의 각도 의존성|Angular Dependence of Porous Low-k Material Etch Rate in a CHF3 Plasma
황성욱,이겨레,민재호,문상흡|Sung-Wook Hwang,Gyeo-Re Lee,Jae-Ho Min,Sang Heup Moon
한국화학공학회 2002년 가을 학술대회 |
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VTMS 전구체를 이용한 직접 플라즈마 CVD 저유전체 박막의 제조 및 평가|Low-k SiCOH films by direct plasma CVD with VTMS(vinyltrimethylsilane)
곽상기,이시우|Sang Ki Kwak,Shi Woo Rhee
한국화학공학회 2002년 가을 학술대회 |
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저 유전 물질로의 적용을 위한 다중 블
황소희,마성원,황승상,홍순만,이응찬,김수현,김광웅,최창균|S.H. Hwang,S. Ma,S.S. Hwang,S.M. Hong,E.-C. Lee,S.H. Kim,K.U. Kim,C.K. Choi
한국화학공학회 2002년 가을 학술대회 |
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저유전체 SiCFO 박막의 PECVD 제조 및 특성|Properties of Low-k SiCFO Films Prepared by Plasma Enhanced Chemical Vapor Deposition
김태희, 한윤봉|Tae-Hee Kim, Yoon-Bong Hahn
한국화학공학회 2002년 봄 학술대회 |
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Organic-Inorganic Hybrid for Nano-Phase Separation
이새내, 안창훈*, 석상일*, 최길영, 김정수**, 진문영
한국고분자학회 2002년 가을 학술대회 |
