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Advances in Post CMP Cu Cleaning|Advances in Post CMP Cu Cleaning
박진구
한국재료학회 2004년 가을 학술대회 |
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여러 가지 low-k 물질의 구리 배선 신뢰성|Cu metallization reliability in various low-k dielectrics
황상수, 이희찬, 정성엽, 주영창
한국재료학회 2004년 가을 학술대회 |
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The Effect of NH3 Plasma Treatment on Low Dielectric Organosilicate Thin Film
김수한, 한준희, 차국헌
한국화학공학회 2004년 봄 학술대회 |
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LTCC 저유전율 배선기판과 중유전율 기능성 기판사이의 물리적 화학적 매칭|The physical and chemical matching between low-K and middle-K LTCC composition
박재환, 최영진, 박정현, 고원준, 제해준, 김병국, 박재관
한국재료학회 2004년 봄 학술대회 |
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반도체 Wet Cleaning Process
조일현
한국화학공학회 2003년 봄 학술대회 |
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The Effect of Porogen Structure on the Porous Low Dielectric Films
김수한, 차국헌, 한준희
한국고분자학회 2003년 가을 학술대회 |
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X-ray specular reflectivity studies of nanoporous methylsilsesquioxane films
황용택, 오원태, 박영희, 이병두, 이문호
한국고분자학회 2003년 가을 학술대회 |
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Transmission SAXS and GISAXS studies on the low-k thin films
이병두, 오원태, 황용택, 이문호
한국고분자학회 2003년 가을 학술대회 |
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Effect of Chemical Structure of Porogens on Miscibility with a PMSSQ Copolymer
최연승, 이진규, 윤도영, 김상율, 진문영, 이창진, 차국헌
한국고분자학회 2003년 가을 학술대회 |
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High-Strength Polysilsesquioxanes for Nanoporous Low-Dielectric Films
노현욱, 김진범, 이진규, 이희우, 차국헌, 윤도영, David W. Gidley
한국고분자학회 2003년 가을 학술대회 |
