| 번호 | 제목 |
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Al2O3(0001) 기판상 ZnO 이종 에피탁시 박막의 초기성장거동|Early Stage Heteroepitaxial Growth Behavior of ZnO Thin Films on Al2O3 (0001) 이동주, 박재영, 장창환, 김상섭 한국재료학회 2003년 가을 학술대회 |
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ZnO박막의 Cl2/Ar, Cl2/H2/Ar, CH4/H2/Ar을 이용한 플라즈마 식각|Dry etching of ZnO thin films in Cl2/Ar,Cl2/H2/Ar and CH4/H2/Ar plasmas 박진수,한윤봉|Jin Soo Park,Yoon Bong Hahn 한국화학공학회 2001년 가을 학술대회 |
