화학공학소재연구정보센터
번호 제목
7 RTMOCVD에 의한 ZrO2박막의 제조 및 특성 분석
송병윤, 이원규
한국화학공학회 2004년 봄 학술대회
6 단성분계 산화박막인 TiO2/ZrO2/PbO의 적층구조로 제조된 PZT박막의 특성분석
강병선, 이원규
한국화학공학회 2004년 봄 학술대회
5 반도체소자 단위공정에서 이동현상의 역할
이원규
한국화학공학회 2003년 가을 학술대회
4 단성분계 산화막으로 구성된 적층형 다층구조박막의 형성과 열처리에 따른 물성분석
이원규, 송병윤, 강병선
한국화학공학회 2003년 가을 학술대회
3 플라즈마화학증착법으로 제조된 PbTiO3와 PbZrO3 적층박막구조에서의 PZT 형성
이원규, 우성일
한국화학공학회 2003년 봄 학술대회
2 Abnormal oxidation of cobalt silicide on arsenic implanted N+ active areas
이원규, 조일현
한국화학공학회 2003년 봄 학술대회
1 Arsenic 도즈 량에 따른 코발트 실리사이드 표면위의 이상 산화|Effect of As dose on Abnormal Growth of Oxide on CoSi2
조일현,성낙균,최경근,이종근,이원규|Ihl Hyun Cho,Nak Kyun Sung,Kyoung Keon Choi,Jeong-Gun Lee,Won Gyu Lee
한국화학공학회 2002년 가을 학술대회