번호 | 제목 |
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7 |
RTMOCVD에 의한 ZrO2박막의 제조 및 특성 분석 송병윤, 이원규 한국화학공학회 2004년 봄 학술대회 |
6 |
단성분계 산화박막인 TiO2/ZrO2/PbO의 적층구조로 제조된 PZT박막의 특성분석 강병선, 이원규 한국화학공학회 2004년 봄 학술대회 |
5 |
반도체소자 단위공정에서 이동현상의 역할 이원규 한국화학공학회 2003년 가을 학술대회 |
4 |
단성분계 산화막으로 구성된 적층형 다층구조박막의 형성과 열처리에 따른 물성분석 이원규, 송병윤, 강병선 한국화학공학회 2003년 가을 학술대회 |
3 |
플라즈마화학증착법으로 제조된 PbTiO3와 PbZrO3 적층박막구조에서의 PZT 형성 이원규, 우성일 한국화학공학회 2003년 봄 학술대회 |
2 |
Abnormal oxidation of cobalt silicide on arsenic implanted N+ active areas 이원규, 조일현 한국화학공학회 2003년 봄 학술대회 |
1 |
Arsenic 도즈 량에 따른 코발트 실리사이드 표면위의 이상 산화|Effect of As dose on Abnormal Growth of Oxide on CoSi2 조일현,성낙균,최경근,이종근,이원규|Ihl Hyun Cho,Nak Kyun Sung,Kyoung Keon Choi,Jeong-Gun Lee,Won Gyu Lee 한국화학공학회 2002년 가을 학술대회 |