| 번호 | 제목 |
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상압플라즈마 처리에 의한 PMMA의 표면처리 고천광, 김도현, 김태경, 이원규 한국화학공학회 2008년 가을 학술대회 |
| 26 |
반도체 부품세정을 위한 TiN 박막제거에 대한 연구 원동수, 김미희, 박세진, 이원규 한국화학공학회 2008년 가을 학술대회 |
| 25 |
The effects of amine-content in cleaning solutions on the residue removal of Cu interconnection 고천광, 이원규 한국화학공학회 2008년 봄 학술대회 |
| 24 |
Removal of organic residue on glass substrates using an atmospheric pressure plasma 고천광, 김태경, 박세진, 이원규 한국화학공학회 2008년 봄 학술대회 |
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구리배선에서 식각후잔류물에 대한 세정액의 특성 연구 고천광, 이원규 한국화학공학회 2007년 가을 학술대회 |
| 22 |
활성산소종의 확산에 의한 실리콘 산화막 형성 이원규, 고천광 한국화학공학회 2007년 봄 학술대회 |
| 21 |
Cu BEOL을 위한 혼합세정액의 개발 및 성분별 특성 분석 이진욱, 이원규 한국화학공학회 2007년 봄 학술대회 |
| 20 |
Cu BEOL 위한 세정용액의 각 성분이 갖는 CuO/Cu의 선택적 용해도에 대한 특성분석 이진욱, 고천광, 이원규 한국화학공학회 2006년 가을 학술대회 |
| 19 |
저온 산화공정을 이용한 실리콘 산화박막 성장 및물성 분석 고천광, 이원규 한국화학공학회 2006년 봄 학술대회 |
| 18 |
Cu BEOL 위한 세정용액의 각 성분이 갖는 CuO/Cu 의 선택적 용해도에 대한 특성분석 이진욱, 이원규 한국화학공학회 2006년 봄 학술대회 |
