화학공학소재연구정보센터
번호 제목
238 펄스전류활성소결법을 이용한 반도체 배선용 Cu-Mg 합금 스퍼터링 타겟의 제조 및 기계적 특성평가
장준호, 박현국, 유정한, 오익현, 우기도
한국재료학회 2013년 가을 학술대회
237 표면산화가 제어된 구리잉크로 제조된 전기 전도성 박막의 특성
이은정, 오상진, 정선호, 류병환, 최영민
한국재료학회 2013년 가을 학술대회
236 Effects of functional groups in corrosion inhibitors on the performance of chemical mechanical polishing
이상원, 김명준, 배기호, 김재정
한국화학공학회 2013년 봄 학술대회
235 Microvia filling using Cu electrodeposition with various organic additives
서혁진, 김명준, 최승회, 김회철, 김재정
한국화학공학회 2013년 봄 학술대회
234 대면적 ECR 플라즈마 소스를 이용한 배선공정용 구리시드막 증착
장수욱, 유현종, 김영우, 정용호, 황인욱, 박재양, 이헌
한국재료학회 2013년 봄 학술대회
233 Development of Metal Grids Embedded Transparent Conductive Electrode with Plasma Technology
정성훈, 김도근
한국재료학회 2013년 봄 학술대회
232 고순도 텅스텐 판재의 제조공정조건에 따른 산화특성분석
김경훈, 김한솔, 김원용
한국재료학회 2013년 봄 학술대회
231 SPS 소결공정을 이용한 배선용 Al-Si(CU) 합금 타겟 제조 및 특성 평가
장준호, 박현국, 유정한, 오익현, 우기도
한국재료학회 2013년 봄 학술대회
230 인쇄회로기판상의 금속 배선을 위한 무전해 구리 도금법 연구
조양래, 윤재식, 이연승, 김형철, 나사균
한국재료학회 2013년 봄 학술대회
229 반도체 배선용 구리 박막의 수소-아르곤 혼합 플라즈마 전처리에 관한 연구
조성찬, 이도한, 김대식, 박기선, 변동진
한국재료학회 2013년 봄 학술대회