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High Density Plasma Etching of IrMn Thin Films in a HBr/Ar Plasma
이태영, 이일훈, 이광희, 정지원
한국화학공학회 2012년 봄 학술대회 |
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Fabrication of Water-Repelling Hierarchical Surfaces Inspired from Termite Wings
고재현, 나혜선, 윤현식, 차국헌
한국고분자학회 2011년 가을 학술대회 |
| 82 |
Fabrication and photocatalytic activity of hierarchically-ordered TiO2 films
김원호, 이진욱, 김영찬, 김승현
한국고분자학회 2011년 가을 학술대회 |
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Pattern formation of gold nanoparticles using masked ion beam irradiation and oxygen plasma etching
강동우, 정창희, 정찬희, 황인태, 최재학, 노영창, 문성용, 이정수, 장지현
한국고분자학회 2011년 가을 학술대회 |
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Fabrication of nanostructured template by colloidal lithography
이진욱, 김원호, 김세원, 김승현, 이근용, 곽영제
한국고분자학회 2011년 봄 학술대회 |
| 79 |
New approach for adhesion of UV coating by plasma polymerization at atmospheric pressure
지영연, 김성락
한국고분자학회 2011년 봄 학술대회 |
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Modified Principal Component Analysis for In-situ Endpoint Detection of Dielectric Layers Eteching Using Plasma Impedance Monitoring and Self Plasma Optical Emission Spectroscopy
장해규, 채희엽
한국화학공학회 2011년 가을 학술대회 |
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3D feature profile simulation for fluorocarbon plasma etching processes
육영근, 조덕균, 유동훈, 장원석, 권득철, 김진태, 윤정식, 임연호
한국화학공학회 2011년 가을 학술대회 |
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Reduction of contact hole diameter by alternating etching and deposition using a fluorocarbon plasma
조성운, 김준현, 김창구
한국화학공학회 2011년 가을 학술대회 |
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The role of steady-state fluorocarbon film during SiO2 etching in C4F6/Ar/O2/CH2F2 plasmas
조성운, 김창구
한국화학공학회 2011년 봄 학술대회 |
