번호 | 제목 |
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1 |
Etching Properties of Magnetic Tunnel Junction Materials using CO/NH3 Gas Mixtures in Pulsed-bias ICP System 윤덕현, 염근영 한국재료학회 2014년 봄 학술대회 |
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Etching Properties of Magnetic Tunnel Junction Materials using CO/NH3 Gas Mixtures in Pulsed-bias ICP System 윤덕현, 염근영 한국재료학회 2014년 봄 학술대회 |