| 번호 | 제목 |
|---|---|
| 1 |
Si Nanostructure Etching Using Pulsed Inductively Coupled Cl2/Ar Plasma 신예지, 김희주, 김교운, 오지수, 염근영 한국재료학회 2019년 가을 학술대회 |
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Si Nanostructure Etching Using Pulsed Inductively Coupled Cl2/Ar Plasma 신예지, 김희주, 김교운, 오지수, 염근영 한국재료학회 2019년 가을 학술대회 |