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번호	제목
67	VOCs 연소를 통한 배가스 특성(Characteristics of flue gas using direct combustion of VOCs) 김종수, 정수화, 최석천, 목진성 한국화학공학회 2022년 봄 학술대회
66	Etching of SiO2 in an inductively coupled plasma using hexafluoroisopropanol 이유종, 김창구 한국화학공학회 2022년 봄 학술대회
65	Etching of SiO₂ in inductively coupled plasmas using heptafluoropropyl methyl ether and perfluoropropyl carbinol 선은재, 김창구 한국화학공학회 2022년 봄 학술대회
64	SiO₂ contact hole etching using heptafluoropropyl methyl ether/pentafluoropropanol/O₂/Ar plasmas 유상현, 김창구 한국화학공학회 2022년 봄 학술대회
63	암모니아 직접 연소를 통한 배가스 특성(Characteristics of flue gas using direct combustion of Ammonia) 김종수 한국화학공학회 2022년 봄 학술대회
62	Effects of O2 addition on etching process in heptafluoropropyl methyl ether plasmas 이유종, 김창구 한국화학공학회 2021년 가을 학술대회
61	Angular dependence of SiO₂ etch rates in hydrofluoroalcohol-containing plasmas 선은재, 김창구 한국화학공학회 2021년 가을 학술대회
60	Etching characteristics of fluoroether/fluoroalcohol/Ar plasmas 유상현, 김준현, 김창구 한국화학공학회 2021년 봄 학술대회
59	Effect of mixing ratio in SiO₂ etching using hydrofluoroether plasmas 선은재, 김준현, 김창구 한국화학공학회 2021년 봄 학술대회
58	Etching characteristics of SiO₂ in heptafluoropropyl methyl ether and pentafluoropropanol plasmas 이유종, 김준현, 김창구 한국화학공학회 2021년 봄 학술대회