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Influence of non-corrosive etch gases containing C, H, and O elements on magnetic properties of CoPt superlattice 이재용, 최재상, 조두현, 정지원 한국화학공학회 2017년 봄 학술대회 |
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Anisotropic etching of nanometer-scale patterned MTJ stacks under various etch gases 최재상, 이재용, 조두현, 정지원 한국화학공학회 2017년 봄 학술대회 |
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Study on etch characteristics of nanometer-scale patterned CoFeB magnetic thin films using various etch gases 조두현, 이재용, 최재상, 정지원 한국화학공학회 2017년 봄 학술대회 |
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Inductive coupled plasma reactive ion etching characteristics of Ta thin films for hard mask applications 최지현, 아드리안, 황수민, 정지원 한국화학공학회 2015년 봄 학술대회 |
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High density plasma reactive ion etching of Co2MnSi thin films using a CH3OH/Ar gas mixture for magnetic random access memory applications 아드리안, 최지현, 황수민, 정지원 한국화학공학회 2015년 봄 학술대회 |
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High Density Plasma Etching of IrMn Thin Films in a HBr/Ar Plasma 이태영, 이일훈, 이광희, 정지원 한국화학공학회 2012년 봄 학술대회 |
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Etch Characteristics of Magnetic Tunnel Junction Stacks in a O2/Ar Plasma 이일훈, 이태영, 정지원 한국화학공학회 2012년 봄 학술대회 |
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Inductively Coupled Plasma Reactive Ion Etching ofMgO Thin Films Using a CH4/Ar Plasma(*발표취소) 김은호, 소우빈, 공선미, 정지원 한국공업화학회 2010년 가을 학술대회 |
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Cl2/Ar 가스를 이용한 Ni 박막의 건식 식각 조한나, 리유에롱, 민수련, 정지원 한국화학공학회 2006년 가을 학술대회 |
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Cl2/Ar 가스를 이용한 ZnO 박막의 유도 결합 플라즈마 반응성 이온 식각 민수련, 이장우, 조한나, 정지원 한국화학공학회 2006년 봄 학술대회 |