| 번호 | 제목 |
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| 12 |
A Novel Method to Evaluate the Catalyst Effect on the Performance of W CMP Process 한소영, 정연아, 류헌열, Maneesh Kumar Poddar, Nagendra Prasad Yerriboina, 김재현, 박종대, 이민건, 박창용, 한성준, 김명준, 박진구 한국재료학회 2019년 봄 학술대회 |
| 11 |
Co CMP를 위한 Co-BTA Complex Layer 특성 연구 이찬희, 류헌열, 황준길, 정연아, 조휘원, Nagendra Prasad Yerriboina, 박진구 한국재료학회 2019년 봄 학술대회 |
| 10 |
Cu CMP 공정 중 CMP 공정변수에 따른 Cu-BTA Complex 형성 평가 박진구, 이정환, 조병준, 박건호, 김동하, 김진용 한국재료학회 2015년 가을 학술대회 |
| 9 |
Cu CMP 공정 중 Cu 표면에 형성되는 Cu-BTA Complex에 관한 특성 김진용, 조병준, 박진구 한국재료학회 2015년 봄 학술대회 |
| 8 |
흄드실리카의 나노 분산졸 제조 및 분산안정화 연구 박민경, 최진섭, 이승호, 김대성 한국공업화학회 2015년 봄 학술대회 |
| 7 |
Effects of functional groups in corrosion inhibitors on the performance of chemical mechanical polishing 이상원, 김명준, 배기호, 김재정 한국화학공학회 2013년 봄 학술대회 |
| 6 |
탄산세륨으로부터 CMP 슬러리용 나노세리아 특성 김성돈, 김철주, 윤호성 한국화학공학회 2009년 봄 학술대회 |
| 5 |
Ru CMP(chemical mechanical planarization) 에서 pH 변화가 Ru의 연마거동에 미치는 영향 조병권, 김인권, 권태영, 강봉균, 박진구, 박형순 한국재료학회 2007년 봄 학술대회 |
| 4 |
CMP 슬러리 내의 계면 상호작용 측정용 콜로이드 프로브 제조 (I) 김종웅, 최영민, 류병환 한국재료학회 2007년 봄 학술대회 |
| 3 |
전기화학적 연마기의 제작 및 특성평가 권태영, 김인권, 박진구 한국재료학회 2006년 봄 학술대회 |
