| 15 |
Study of Silicon Oxidation in a 12-Inch Remote Plasma-Enhanced Rapid Thermal Processor
이혜원, 이광순
한국화학공학회 2007년 봄 학술대회 |
| 14 |
Plasma Simulation of Gas Flow Effect on Plasma Uniformity in Inductively Coupled Plasma Etcher
이재원, 채희엽, 박근주
한국화학공학회 2007년 봄 학술대회 |
| 13 |
RPERTP System Development with a Computational Fluid Dynamics Code Simulator Work
이혜원, 이광순
한국화학공학회 2006년 가을 학술대회 |
| 12 |
Gas Injector Effect on Gas Flow Uniformity in Inductively Coupled Plasma Etcher
이재원, 채희엽, 박근주, 채환국
한국화학공학회 2006년 가을 학술대회 |
| 11 |
Deposition of SiO2 Layer in a 300mm Rapid Thermal Process Equipment using Remote Oxygen Plasma
이혜원, 주상래, 서승택, 이광순
한국화학공학회 2006년 봄 학술대회 |
| 10 |
충돌제트기류를 이용한 통기건조기의 유동 및 전열특성 모델링
김명일, 전원표, 이동현
한국화학공학회 2006년 봄 학술대회 |
| 9 |
압전 방식 액츄에이터 제작과 전기 기계적 특성
이장근, Pham Van So, 여재진, 신상훈, 이재찬
한국재료학회 2006년 봄 학술대회 |
| 8 |
Dry Etching of SiO2 with C2F6 Plasma in an ICP Process: Numerical Study with a CFD Code
서승택, 이광순, 양대륙, 최범규
한국화학공학회 2005년 봄 학술대회 |
| 7 |
Dry Etching of SiO2 with C2F6 Plasma in an ICP Process: Numerical Study with a CFD Code
서승택, 이용희, 이광순
한국화학공학회 2004년 가을 학술대회 |
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CFD-ACE를 이용한 ICP-RIE공정의 전산모사
이용희, 이광순
한국화학공학회 2004년 봄 학술대회 |
