학술대회 목록보기 번호 제목 1 NF3 플라즈마 및 Trimethylaluminum을 사용한 Al2O3의 등방성 원자층 식각강호진, 하희주, 이형우, 김용재, 채희엽한국화학공학회 2022년 봄 학술대회 1
