| 번호 | 제목 |
|---|---|
| 2 |
EUV 리소그래피 마스크 표면에서의 오염입자의 흡착 및 제거 영향에 관한 연구 이구봉, 김민수, 박진구 한국재료학회 2017년 봄 학술대회 |
| 1 |
NF3/H2O의 혼합 가스 플라즈마를 이용한 실리콘 산화막 건식 식각 공정 최적화 및 오염물 최소화에 대한 연구 이구봉, 김현태, 김민수, 최인찬, 장성해, 박진구 한국재료학회 2016년 가을 학술대회 |
| 번호 | 제목 |
|---|---|
| 2 |
EUV 리소그래피 마스크 표면에서의 오염입자의 흡착 및 제거 영향에 관한 연구 이구봉, 김민수, 박진구 한국재료학회 2017년 봄 학술대회 |
| 1 |
NF3/H2O의 혼합 가스 플라즈마를 이용한 실리콘 산화막 건식 식각 공정 최적화 및 오염물 최소화에 대한 연구 이구봉, 김현태, 김민수, 최인찬, 장성해, 박진구 한국재료학회 2016년 가을 학술대회 |