| 번호 | 제목 |
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Puled Plasma를 이용하여60 MHz/2 MHz Dual-Frequency Capacitive coupled plasma에서 SiO2의 식각특성에 관한 연구 염근영, 전민환, 김회준 한국재료학회 2013년 봄 학술대회 |
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Neutral Beam을 이용한 Aluminum Oxide Gate Dielectric 의 Fluorination 에 관한 연구 김회준, 민경석, 김찬규, 염근영 한국재료학회 2012년 봄 학술대회 |
