화학공학소재연구정보센터
News & Information for Chemical Engineers, Vol.31, No.2, 169-169, April, 2013
[신기술 소개] 화학적 리프트 오프 리소그래피법을 이용한 초정밀 표면 패턴닝
Subtractive Patterning via Chemical Lift-off Lithography